MEMS流量傳感器
點擊量：3688 發布時間：2018-12-13
產品特點 | 能最大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器 |
技術特點 | 應用氣體流量測試技術檢測僅為1毫米/秒的氣體流量 |
能最大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器
作為減輕環境負擔的新一代燃料電池系統零部件，MEMS流量傳感器發揮著重要的作用。燃料電池的原理就是將城市燃氣中含有的氫氣與氧氣混合在一起，產生化學反應進行發電。為了盡量提高發電效率，需要使氫氣與氧氣在最佳混合比率的情況下進行燃燒。為了達到這一目的，需要發揮MEMS流量傳感器的高精度測試技術。
歐姆龍采用獨創的超細微加工技術，開發了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的世界最高級別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。隨著燃料電池的普及，對歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器用途的期待也不斷高漲。
技術特長氣體流量檢測技術
應用氣體流量檢測技術，檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
為了檢測微量的流速，就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測部位的MEMS流量傳感器芯片。通過充分發揮歐姆龍獨創的高精度加工技術，創造出世界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。其測試原理如圖所示，在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱；如有氣體流動，加熱器排出的風的上方就會變冷，風的下方就會變熱，從而導致溫度失衡。此溫度差作為兩個熱電偶的電動勢差，可用于檢測流速及流量。
另外，通過應用歐姆龍獨創的蝕刻技術等，即使是這種超精細的MEMS，也能高精度地實現質量穩定的大批量生產。憑借這種高度的MEMS生產性，歐姆龍大幅度降低了產品成本，從而不僅在燃料電池方面，還可廣泛應用于檢測精密設備的空冷狀態等各種領域。
